薄膜xrd检测

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更新时间：2025-05-09 /

关键词:薄膜xrd检测 /

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检测样品

硅基薄膜
氮化镓薄膜
氧化锌薄膜
二氧化钛薄膜
氧化铟锡薄膜(ITO)
二硫化钼薄膜
石墨烯薄膜
氮化铝薄膜
金薄膜
银薄膜
铜薄膜
铁电薄膜(PZT)
钙钛矿薄膜
氮化硅薄膜
二氧化硅薄膜
氧化铝薄膜
锆钛酸铅薄膜
硫化镉薄膜
聚酰亚胺薄膜
氧化镍薄膜
氧化锡薄膜
钇钡铜氧超导薄膜
碳化硅薄膜
钴铂磁性薄膜
铜铟镓硒薄膜(CIGS)
氮化硼薄膜
氧化钌薄膜
非晶碳薄膜
钼/硅多层膜
羟基磷灰石生物薄膜

检测项目

物相分析
结晶度测定
残余应力分析
晶粒尺寸计算
薄膜厚度测定
择优取向分析
晶格常数测定
缺陷密度分析
织构分析
相变过程监测
掺杂浓度分析
界面结构表征
热膨胀系数测定
应力弛豫分析
多层膜周期测定
外延质量评估
非晶含量测定
晶体取向分布
微观应变分析
薄膜均匀性评估
晶界结构分析
相含量定量分析
晶体完整性评估
结构弛豫分析
层间扩散分析
表面粗糙度关联分析
异质结匹配度检测
量子阱结构表征
超晶格周期验证

检测方法

掠入射X射线衍射（GIXRD）：采用小角度入射减少基底干扰，增强薄膜信号检测灵敏度
X射线反射率法（XRR）：通过反射强度曲线分析薄膜厚度、密度和界面粗糙度
摇摆曲线扫描（Rocking curve）：评估外延薄膜的结晶质量和晶格匹配度
极图分析（Pole figure）：表征薄膜晶体取向分布和织构特征
θ-2θ对称扫描：常规物相分析，适用于较厚薄膜的晶体结构检测
掠入射小角散射（GISAXS）：分析纳米级薄膜表面/界面周期性结构
高分辨率XRD（HRXRD）：准确测定晶格常数和超晶格结构
变温XRD：研究薄膜材料在温度变化下的相变行为
应力分析XRD：通过晶格畸变计算薄膜残余应力分布
微区XRD（μ-XRD）：对薄膜特定微区进行局部晶体结构分析
快速XRD扫描：动态监测薄膜生长过程的实时结构演变
同步辐射XRD：利用高亮度光源实现超薄薄膜高精度检测
二维面探测器XRD：快速获取薄膜三维晶体取向信息
掠入射广角散射（GIWAXS）：同时获取薄膜纳米结构和晶体取向信息
深度分辨XRD：通过入射角调节实现薄膜纵向结构分层分析
偏振XRD：研究薄膜各向异性晶体结构特征
原位应力XRD：实时监测薄膜在机械载荷下的结构响应
反常X射线衍射（AXRD）：利用元素吸收边增强特定原子信号
三维XRD（3D-XRD）：重构薄膜三维晶体结构分布
共聚焦XRD：提高空间分辨率，实现薄膜亚表面结构分析
时间分辨XRD：捕捉薄膜快速动态结构变化过程
全反射X射线衍射（TRXRD）：用于超薄单分子层结构表征
能量色散XRD（EDXRD）：多波长联合分析复杂薄膜体系
掠入射X射线荧光（GIXRF）：结合元素分布进行结构-成分关联分析
相位对比XRD：增强弱结晶薄膜的信号检测能力
纳米束XRD（NBXRD）：实现纳米尺度薄膜结构表征

检测标准

ANSI B151.2-1999薄膜铸塑机的制造、维护和使用
ANSI B151.4-1999吹塑薄膜取出设备和辅助设备的制造、维护和使用
ANSI B151.5-2000塑料薄膜和薄膜卷绕设备的制造、维护和使用
ANSI INCITS 163-1988(R2002)信息系统接触式开关金属薄膜存储器盘每道83333通量跃迁,130mm(5.118英寸)外径,40mm(1.575英寸)内径(取代ANSI X3.163-1988 R(2002)标准)
ANSI INCITS 179-1990(R2002)信息系统接触式开始结束型金属薄膜存储盘每道83333通量跃迁,9.5mm(3.740英寸)外径2.5mm(0.984英寸)内径1.27mm(0.050英寸)厚(取代ANSI X3.179-1990 R(2002)标准)
AS 1145.3-2001塑料抗拉性能测定第3部分:薄膜和薄板材的试验条件
AS 1180.7A-1972橡胶软管测试第7A部分:柔性薄膜衬和浮动式盖的抗液压测试
AS 1195-1973聚四氟乙烯薄膜(PTFE)发泡胶带
AS 1196-1973聚四氟乙烯薄膜(PTFE)塑料薄膜
AS 1197-1973聚四氟乙烯薄膜(PTFE)模压基本异型制品